新聞 : 艾司摩爾 EUV 設備生產不順，原因是卡爾蔡司鏡頭供應不足

在當前半導體製程已經微縮到 10 奈米以下之際，
大家都寄望借助極紫外光微影設備 （EUV） 能協助製程向前發展，
也使得摩爾定律 （Moore’s Law） 能夠再往下延伸。

不過，就目前生產 EUV 設備的艾司摩爾 （ASML） 來說，
因為其製造的困難度，已經積壓了大量訂單在手上。

現在，有國外媒體指出，之所以使得艾司摩爾的 EUV 設備生產不順的主因，
就是來自於設備中光學鏡頭供應商蔡司 （Carl Zeiss） 供貨進度跟不上需求所致。

外媒報導指出，艾司摩爾 EUV 的光學鏡頭是德國蔡司公司所生產。
但是，由於蔡司的鏡頭供貨量不足，導致艾司摩爾的 EUV 極紫外光微影設備生產進度緩慢。
據瞭解，7 月份艾司摩爾曾經報告指出，至今已經積壓了多達 21 台 EUV 的訂單，
每台 EUV 訂單成本高達 1.5 億美元。而 2017 年年底前最多也就只能交付 8 到 9 台 EUV 設備。

報導進一步指出，根據外界預估，
隨著三星和台積機電都宣佈將在 2018 年試生產內含 EUV 技術的圓晶製程，
使得 2017 年 EUV 設備的銷售金額預計可達到 14.82 億美元，
這比 2016 年的 10.36 億美元足足成長了 43%，
而且這個數字在 2019 年還將會進一步上升到 30 億美元。

目前，艾司摩爾的客戶都是一些半導體大廠，
比如台積電，三星，英特爾 （Intel） 等，如果拿不到 EUV 設備，
新世代製程的生產計畫必定會受到影響，任誰也不想看到這樣的情況發生。
所以，艾司摩爾在生產還將要再加把勁的努力。
據了解，目前 EUV 設備的生產，現在還面臨一些問題需要調整。
除了來自蔡司的鏡頭的供應不足之外，還有設備上的晶片保護膜仍需要改進。

現階段，在三星和台積電都宣佈將試產內含 EUV 技術在內的圓晶，
反觀半導體大廠 Intel 的態度則是不急不徐。

雖然，Intel 不是當前第一個採用 EUV 技術量產圓晶的企業，
但將來 Intel 或許會是購買最多的 EUV 設備的公司。

因為，2017 年三星的資本支出已經達到了 170 億美元，
Intel 則是 120 億，台積電也有 100 億元，最少的是格羅方德，只有 25 億美元。

但是，所有廠商在 EUV 部分的花費總共才 14.82 億元。
因此，預估在 2019 年這個數字會進一步上升至 30 億美元之際，
Intel 為加速自己的步伐，並與競爭對手相抗衡，
將會比較大程度的採購 EUV 設備來強化自己的技術，這就是其關鍵手段之一。

由 財經新報 轉載